PMMA〔聚甲基丙烯酸甲酯〕，即有机玻璃，是一种大量用途工程塑料。于现代微细加工技术中，PMMA被用作光刻胶材料。激光光刻作为一种高精度、高效率加工方式，其使用激光波长对加工效果具有很大影响。

目前用于PMMA光刻主要激光波长有紫外区间365nm〔iline〕、248nm〔KrF准分子激光〕、193nm〔ArF准分子激光〕。其中，365nm波长光源成本较低，适合大规模生产；而248nm、193nm波长则能实现更高分辨率，适用于要极高精度用途场景。

选择合适激光波长需综合考虑加工精度、成本还有材料特性因素。例如，于半导体生产行业，为了获得更小特征尺寸，通常会选择波长较短193nm激光进行光刻。而于某些特殊用途场合，如生物医学器件生产，则也许优先考虑经济性、实用性，选用365nm波长。

另外，随着飞秒激光技术发展，超快激光也开始用途于PMMA加工中。这种技术能够以极高峰值功率作用于材料表面，通过非线性吸收效应直接改变化学结构或去除材料，避免了传统连续波激光也许导致热损伤问题，进一步提升了加工质量。

合理选择激光波长对于确保PMMA光刻质量至关很大，这不仅关系到最终产品性能，还直接影响到整个生产流程成本控制和效率提升。未来随着新材料、新技术连续涌现，PMMA光刻工艺也将迎来更多创新和发展机遇。

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